我的一九八五第一四七五章 nm光刻机

“邓院长我代表京城半导体公司奖励研发部500万元。

” 啪啪…… 8月15日接到总经理魏建国的电话京城光刻机研究院研发成功了90nm制程工艺光刻机孙健非常高兴第二天上午就乘飞机从江城来到京城在京城光刻机研究院会议室接见了包括院长邓国辉院士、副院长欧阳明院士、副院长陈伟长院士、光刻机自动化研究所所长夏季常院士在内的200多名90nm制程工艺光刻机研发部的研发人员。

京城光刻机研究院在不到一年的时间内研发成功90nm光刻机厚积薄发孙健不会感到惊讶经过近9年的快速发展加上舍得投资京城光刻机研究院下属10家研究所（部）人才济济国内近八成的顶尖光刻机人才都在这里。

京城半导体公司拥有4名光刻机专业顶尖的院士教授、研究员、教授级工程师近百人这在国内科研院所和公司中都是绝无仅有的事情。

如今没有专业博士文凭很难进入京城光刻机研究院。

1998年9月GCA和Nikon先后研发成功90nm制程工艺的光刻机；2000年8月Intel、IBM、IT、AMD、HP各自投资25亿美元（包括基建费用）建设的一条12英寸晶圆、90nm制程工艺的半导体生产线先后量产。

2000年ASML、Canon、SVG先后研制成功90nm制程工艺的光刻机。

1999年PGCA半导体公司申请从GCA购买一条12英寸晶圆、90nm制程工艺的半导体生产线但遭到美国商务部否决重新申请购买一条12英寸晶圆、180制程工艺的半导体生产线3个月后才批准2000年12月7日这条生产线才量产。

得陇望蜀！ 2000年12月底孙健怂恿中村三郎代表曙光东芝晶圆公司从东芝公司引进一条12英寸晶圆、90nm制程工艺的半导体生产线但遭到日本半导体协会拒绝；曙光东芝晶圆公司花费15亿美元（包括从BSEC采购40台250nm制程工艺的光刻机）从日本引进了一条12英寸晶圆、180nm制程工艺的半导体生产线如今还处于设备安装阶段9月下旬试生产。

国内有了二条12英寸晶圆、180nm制程工艺的半导体生产线台积电、三星都只有一条。

京城半导体公司（BSEC）研制成功的90nm制程工艺的光刻机虽然比GCA和Nikon晚了近三年的时间比ASML、Canon、SVG晚了一年多的时间但已经是一项了不起的成就。

美西方国家禁止出口最先进的技术和生产线给国内孙健多次遭遇“有米无锅”的局面。

1993年3月孙健奉命接手工业部四十五所、中K院微电子研究中心和中K院沪海光学精密机械研究所及其配套工厂组建BSECBSEC生产的光刻机制程工艺同GCA和Nikon相比相差四代落后20年都不止！ BSEC同中K院、华清、燕大、哈工大、国科大、华中大学、沪海硅片制造厂、冰城光源材料厂、金城激光器制造厂、金城金属气体厂等97家科研院所和公司长期保持合作关系联合开发单晶硅、光源材料、激光器材料和光刻气体等技术攻关项目。

半导体产业发展日新月异要不是全球光刻机产业被193nm波长的世界性光学难题卡住了GCA和Nikon早就研制65nm制程工艺甚至40nm制程工艺的光刻机了。

一步先步步先光刻机的制程工艺不是花钱就能迅速解决的技术难题。

孙健将BSEC赶上GCA和Nikon的希望主要寄托在全球光刻机产业被卡在193nm波长的世界性光学难题上。

BSEC借助于出售磁悬浮式双工作台系统技术收取的专利费于1995年实现盈利后拿到了特批的上市额度在鹏交所公开发行了1.5亿股（包括1000万职工股）发行价6元融资8.73亿元（扣除发行费用）其中8亿元用于研发8英寸晶圆和500nm制程工艺光刻机0.73亿元用于补充公司流动资金。

总股本增加到9.5亿股每股净资产3.45元。

1996年6月24日BSEC在鹏城证券交易所成功上市（其中1000万职工股于6个月后流通）首日以17.58元收盘上涨11.58元涨幅193%。

光刻机被称为工业皇冠上的明珠是一个国家科技实力的综合体现。

1997年最高涨到45.78元BSEC成为鹏沪股市第一科技股。

BSEC1996每股分红1.2元；1997年10配3股1998年10送1.3元1999年10送1.8元2000年10送2股如今总股本增加到15.21亿股总资产96.52亿元净资产57.03亿元每股净资产3.75元。

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